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直线滚动轴承,2-M3×0.5 螺孔深5 A4-NSK K12×n-j4.5キリ通し後 2φ 4-M4×0.7螺孔深6 4-M4×0.7 螺孔深6 2-M3×0.5 螺孔深5 ,半导体制造装置,×10,的外部负载的滑块位移和预压的关系。直线导轨滑块的刚性定义如下,φ8×2, φ10×2, φ12×2 ,法兰盘型号Ⅰ 法兰盘型号ⅠⅠ ,55 ,2 ● ,GSCT14040-7.5 2.5×3 568000 2880000 ,Ca C0a ,灌注型 M6×0.75或R1/8(直线导轨)A型 B型 C型 图Ⅲ -5·4 润滑脂注入口形状 ,(Z:微预压品),SFT 1604-2.5 间隙 2.5×1 4300 8530 134 ,  Fs2= Fs4=-100(N)=F + M3 , (4)导轨制作范围 (9)尺寸表,轴端形状的选定 B27、B29 页 ,PSS1510N1D0261 15 100 146 189 204 261 ,长度 ,W1401FA-3P-C5Z8 W1401FA-4-C5T8 100 143 ,C0a ,中空内径(mm) ,先前的安装方向 NSK 推荐的安装方向 ,MA 系列 : 轴端成品 (小导程)丝杠轴直径 φ10, 导程 2.5 ,预压符号 微预压:Z系列各称,  精度等级    C0 C1 ,Ⅱ 0.030 0.023 0.075 1.4 ~ 11.8 2.0 - ,LPFT 3220-3 P 1.5×2 13200 24800 297 119 ,Y Z ,0.019 0.013 15 7.5 ,ZFT 2810-3 Z 1.5×1 10800 21500 320 ,5.5卡圈,向间隙 外径 ,4.,右轴端 ,系列 尺寸材質 05 07 09 12 15 ,NDT ,计算机周边装置 , 建议使错开的长度,比滑块的长度长。另外在需要更高精度时,需考虑工作台移动时,不使同一工作台中的滑块同时通过接续部,** ,Dw ,固定-支撑 固定 -固定 ,公称型号 ,W2509SA-2P-C5Z10 850 889 970 1000 1133 ,补充量的 ,12 ,※(,滑块单件符号 LA S 30 FL S Z ,K6,51 — 85 26 34 42 12 — 67 ,部 , ,单位:N5545 表Ⅴ -1·5-12 防尘用自由选择零件安装时尺寸,6 195 491 67.6 ,L ,0~ 3 ,— — 11 0.5 6000ZZ ,700 ,HA25EM 36 5.5 23.5 70 147.8 57 100 50 M8×1.25×10 6.8 6.5 126 13 30.5 11 M6×0.75 6 11 ,φd2 ,预压扭矩相互差 ,L1 ,标准型四方向等负载能力型 TS AN ,PSS2505N1D0599 ,LSFT 6340-3 间隙 1.5×2 56800 165000 667 218 ,※,50 ,LA25BN 107.8 50 86 18 ,SH15 M4 LG-CAP/M4 20个 /箱 ,DFT4012-5 40 12 19 19 252 φ61 MAXφ64 ,★,形状符号,无 ,W X ,★,UPFC 3264-6 P 1.7×4 38100 103000 1210 ,尺寸3:Z3中预压 Z:预压互换 预压符号P3、P4、P5、P6:(无NSK K1)K3、K4、K5、K6:(有NSK K1)精度等级* 1设计编号,行程 1500(mm) ,①将基准侧导轨轻轻对准放在底座的导轨安装面上,旋上螺栓暂不拧转。不要将螺栓完全拧进螺孔,拧进一半即可,这样将会方便后面的安装。,表Ⅴ -3 ·1-2 单位:μm ,准精密级 P6 K6 ,Ca ≧ (60Nm·Lt)1/3·Fm·fw×10-2(N) ,5 000 ,·,45° ,如果必须在 80℃以上使用,请与 NSK 协商。使用润滑单元 NSK K1 时,请在 50℃以下(瞬间最高温度 80℃ ,行程、丝杠长度的选定 B25 页 ,预压品 微间隙产品 (Lt—螺母长) ,(N / μm) , ... 7 1 ,轨道 轨道 ,B:虽未生锈但有些变色 C:有锈斑D:轻微生锈E:完全生锈 , ... 7 1 ,C0a ,φD ,80℃ ,变动 ,W1203FA-3P-C5Z10 W1203FA-4-C5T10 250 260 ,表Ⅲ -1·15  HTF 型产品分类 , ,600 ,螺母尺寸 ,超高负载型 LE07 UL 0~ 43 71 ,乱.....1gP. ,MPO ,按如下公称型号表示型号 ,3 ,L3 L2 ,额定动 , 内循环式具有螺母外径小型、适合于小导程的特 ,精度等级(参阅A187页)设计编号 ,安装特性,φd r ,D ,照片2 楔块,公称型号 ,△ ,90 115 8 ,图,·,轨道 ,  将润滑脂注入嘴和专用配管接头安装到滑块主体配管接头Rc1/8 Rc1/8上面或侧面时,请向 NSK咨询。 ,内循环式 ,φdr ,润滑单元「NSK K1」无, 30° ,端部循环方式 ,安装间距 L = 2000 mm ,φ16×32 ,N(min-1) ,33 8.7 18 40 4.5×7.5×5.3 7.5 15 1000 5600 11300 135 44 37 2.381 0.2 2.1 ,润滑脂注入嘴,B ,使用油润滑时,应注意注油管路的设计,●,(kN) ,★,提高了动摩擦特性,获得了平滑、稳定的动作。尤其是在低速运动时效果更好。,法兰盘部 ,无间隔滚珠 ,(kg) ,8 4.762 50.5 45.5 ,110 ,对管垫片,Lmax 420 840 1260 1680 2100 2520 2940 3360 3780 4200 ,79 121 ,常规 最大 ,极限负载 ,L1 ,相对 A面的 C面走行平行度相对 B面的 D面运行平行走 参阅图Ⅴ -1 ·1-5、6 表Ⅴ -1 ·1-1 ,28 26 80 9×14×12 M8×1.25×15 14 4 000 [3 500] 35 500 46 000 63 000 91 500 600 870 505 1 030 425 865 5.556 1.2 1.6 5.2 , LW   ○ ○ ○ ○ ,极限转速 N(min-1) ,切割机 ,D T,D T,D T,D ,B14 (2)外围装置 ,M ,Σ2520 25 20 3.175 25.75 22.4 (18) 5870 13200 58 74 6 63 8 4 3-M4 6 38 45 66 4.5 1.18 ,6 ,φdr ,润滑脂补充 ,Q(注油孔) ,获得足够的润滑效果。 ,·, 定购时,请将您选择的公称型号填写在 B34 页所 , H:不锈钢+表面处理,基本额定负载 ,·,W3,S系列,G ,圈数 ,·,NDD 型是危险速度通过型 , LS20 ,B,7 ,降 ,系列名, 在高速机床滚珠丝杠驱动系统的发热、热位移对 ,高防尘 ,时的注意事项》(B84页)及《安装时的注意事项》 ,υu ,△,(2),10 6.35 41.75 35.1 ,62 ,SS20 CL、JL、KL、JM 59 343 88 157 59 118 ,循环部分的构造如图Ⅲ -1·4 的所示。 ,圆形Ⅰ、Ⅱ ,G ,轴的公称型号 ,★,32,第 1 次选定: 搬送用滚珠丝杠 R 系列 ,螺纹段 ,封入润滑剤 ,单位:mm,扭矩 ,高防尘密封通过前 高防尘密封通过后 直线滚动轴承,2-M3×0.5 螺孔深5 A4-NSK K12×n-j4.5キリ通し後 2φ 4-M4×0.7螺孔深6 4-M4×0.7 螺孔深6 2-M3×0.5 螺孔深5 ,半导体制造装置,×10,的外部负载的滑块位移和预压的关系。直线导轨滑块的刚性定义如下,φ8×2, φ10×2, φ12×2 ,法兰盘型号Ⅰ 法兰盘型号ⅠⅠ ,55 ,2 ● ,GSCT14040-7.5 2.5×3 568000 2880000 ,Ca C0a ,灌注型 M6×0.75或R1/8(直线导轨)A型 B型 C型 图Ⅲ -5·4 润滑脂注入口形状 ,(Z:微预压品),SFT 1604-2.5 间隙 2.5×1 4300 8530 134 ,  Fs2= Fs4=-100(N)=F + M3 , (4)导轨制作范围 (9)尺寸表,轴端形状的选定 B27、B29 页 ,PSS1510N1D0261 15 100 146 189 204 261 ,长度 ,W1401FA-3P-C5Z8 W1401FA-4-C5T8 100 143 ,C0a ,中空内径(mm) ,先前的安装方向 NSK 推荐的安装方向 ,MA 系列 : 轴端成品 (小导程)丝杠轴直径 φ10, 导程 2.5 ,预压符号 微预压:Z系列各称,  精度等级    C0 C1 ,Ⅱ 0.030 0.023 0.075 1.4 ~ 11.8 2.0 - ,LPFT 3220-3 P 1.5×2 13200 24800 297 119 ,Y Z ,0.019 0.013 15 7.5 ,ZFT 2810-3 Z 1.5×1 10800 21500 320 ,5.5卡圈,向间隙 外径 ,4.,右轴端 ,系列 尺寸材質 05 07 09 12 15 ,NDT ,计算机周边装置 , 建议使错开的长度,比滑块的长度长。另外在需要更高精度时,需考虑工作台移动时,不使同一工作台中的滑块同时通过接续部,** ,Dw ,固定-支撑 固定 -固定 ,公称型号 ,W2509SA-2P-C5Z10 850 889 970 1000 1133 ,补充量的 ,12 ,※(,滑块单件符号 LA S 30 FL S Z ,K6,51 — 85 26 34 42 12 — 67 ,部 , ,单位:N5545 表Ⅴ -1·5-12 防尘用自由选择零件安装时尺寸,6 195 491 67.6 ,L ,0~ 3 ,— — 11 0.5 6000ZZ ,700 ,HA25EM 36 5.5 23.5 70 147.8 57 100 50 M8×1.25×10 6.8 6.5 126 13 30.5 11 M6×0.75 6 11 ,φd2 ,预压扭矩相互差 ,L1 ,标准型四方向等负载能力型 TS AN ,PSS2505N1D0599 ,LSFT 6340-3 间隙 1.5×2 56800 165000 667 218 ,※,50 ,LA25BN 107.8 50 86 18 ,SH15 M4 LG-CAP/M4 20个 /箱 ,DFT4012-5 40 12 19 19 252 φ61 MAXφ64 ,★,形状符号,无 ,W X ,★,UPFC 3264-6 P 1.7×4 38100 103000 1210 ,尺寸3:Z3中预压 Z:预压互换 预压符号P3、P4、P5、P6:(无NSK K1)K3、K4、K5、K6:(有NSK K1)精度等级* 1设计编号,行程 1500(mm) ,①将基准侧导轨轻轻对准放在底座的导轨安装面上,旋上螺栓暂不拧转。不要将螺栓完全拧进螺孔,拧进一半即可,这样将会方便后面的安装。,表Ⅴ -3 ·1-2 单位:μm ,准精密级 P6 K6 ,Ca ≧ (60Nm·Lt)1/3·Fm·fw×10-2(N) ,5 000 ,·,45° ,如果必须在 80℃以上使用,请与 NSK 协商。使用润滑单元 NSK K1 时,请在 50℃以下(瞬间最高温度 80℃ ,行程、丝杠长度的选定 B25 页 ,预压品 微间隙产品 (Lt—螺母长) ,(N / μm) , ... 7 1 ,轨道 轨道 ,B:虽未生锈但有些变色 C:有锈斑D:轻微生锈E:完全生锈 , ... 7 1 ,C0a ,φD ,80℃ ,变动 ,W1203FA-3P-C5Z10 W1203FA-4-C5T10 250 260 ,表Ⅲ -1·15  HTF 型产品分类 , ,600 ,螺母尺寸 ,超高负载型 LE07 UL 0~ 43 71 ,乱.....1gP. ,MPO ,按如下公称型号表示型号 ,3 ,L3 L2 ,额定动 , 内循环式具有螺母外径小型、适合于小导程的特 ,精度等级(参阅A187页)设计编号 ,安装特性,φd r ,D ,照片2 楔块,公称型号 ,△ ,90 115 8 ,图,·,轨道 ,  将润滑脂注入嘴和专用配管接头安装到滑块主体配管接头Rc1/8 Rc1/8上面或侧面时,请向 NSK咨询。 ,内循环式 ,φdr ,润滑单元「NSK K1」无, 30° ,端部循环方式 ,安装间距 L = 2000 mm ,φ16×32 ,N(min-1) ,33 8.7 18 40 4.5×7.5×5.3 7.5 15 1000 5600 11300 135 44 37 2.381 0.2 2.1 ,润滑脂注入嘴,B ,使用油润滑时,应注意注油管路的设计,●,(kN) ,★,提高了动摩擦特性,获得了平滑、稳定的动作。尤其是在低速运动时效果更好。,法兰盘部 ,无间隔滚珠 ,(kg) ,8 4.762 50.5 45.5 ,110 ,对管垫片,Lmax 420 840 1260 1680 2100 2520 2940 3360 3780 4200 ,79 121 ,常规 最大 ,极限负载 ,L1 ,相对 A面的 C面走行平行度相对 B面的 D面运行平行走 参阅图Ⅴ -1 ·1-5、6 表Ⅴ -1 ·1-1 ,28 26 80 9×14×12 M8×1.25×15 14 4 000 [3 500] 35 500 46 000 63 000 91 500 600 870 505 1 030 425 865 5.556 1.2 1.6 5.2 , LW   ○ ○ ○ ○ ,极限转速 N(min-1) ,切割机 ,D T,D T,D T,D ,B14 (2)外围装置 ,M ,Σ2520 25 20 3.175 25.75 22.4 (18) 5870 13200 58 74 6 63 8 4 3-M4 6 38 45 66 4.5 1.18 ,6 ,φdr ,润滑脂补充 ,Q(注油孔) ,获得足够的润滑效果。 ,·, 定购时,请将您选择的公称型号填写在 B34 页所 , H:不锈钢+表面处理,基本额定负载 ,·,W3,S系列,G ,圈数 ,·,NDD 型是危险速度通过型 , LS20 ,B,7 ,降 ,系列名, 在高速机床滚珠丝杠驱动系统的发热、热位移对 ,高防尘 ,时的注意事项》(B84页)及《安装时的注意事项》 ,υu ,△,(2),10 6.35 41.75 35.1 ,62 ,SS20 CL、JL、KL、JM 59 343 88 157 59 118 ,循环部分的构造如图Ⅲ -1·4 的所示。 ,圆形Ⅰ、Ⅱ ,G ,轴的公称型号 ,★,32,第 1 次选定: 搬送用滚珠丝杠 R 系列 ,螺纹段 ,封入润滑剤 ,单位:mm,扭矩 ,高防尘密封通过前 高防尘密封通过后

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